wyko nt9800光學輪廓儀-參數(shù)、特點、功能、應(yīng)用 -veeco華東總代理
wyko nt9800 光學輪廓儀在0.1nm 到 10mm 的垂直掃描范圍內(nèi)提供了非接觸式高速高精度三維表面測量工能,縱向分辨率可達0.1nm。nt9800 采用了veeco的內(nèi)部實時激光參考信號進行持續(xù)的自校準,減小了通常情況下使用標準塊校準設(shè)備的需要,并且能夠補償工作環(huán)境下系統(tǒng)產(chǎn)生的熱漂誤差。作為業(yè)內(nèi)的第九代wyko nt系列光學輪廓儀產(chǎn)品,nt9800 具有zui高的自動化水平,友好的用戶界面,以及業(yè)內(nèi)的wyko vision分析軟件系統(tǒng)。眾多*技術(shù)的集成、經(jīng)過*實用驗證的測量技術(shù)核心以及適合于各種專業(yè)應(yīng)用需要的軟件功能,使 nt9800 成為世界上的光學干涉測量設(shè)備,可滿足mems、金屬研究、材料科學、半導體、科研器械等眾多領(lǐng)域科研和生產(chǎn)工作中對高精度自動化表面測量的需要。
技術(shù)參數(shù):
1、縱向掃描范圍:0.1nm~1mm (標配)
2、垂直掃描速度:25um/s
3、樣品臺尺寸:200mm
主要特點:
1. 非接觸測量
2. 重復性高
3. 測量精度高