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直線柵尺 | 機床加工的精準(zhǔn),還得看它

科技動態(tài) 2020年10月19日 10:56:38來源:Mitutoyo三豐量儀量具 16579
摘要直線柵尺為廣大加工機行業(yè)所熟知,經(jīng)常被應(yīng)用于數(shù)控機床及高精度測量設(shè)備上,來檢測直線位移或是角度位移。
  【機床商務(wù)網(wǎng)欄目 科技動態(tài)】直線柵尺為廣大加工機行業(yè)所熟知,經(jīng)常被應(yīng)用于數(shù)控機床及高精度測量設(shè)備上,來檢測直線位移或是角度位移。
 

 
  作為一把“尺子”,直線柵尺自身的精度固然決定了數(shù)控機床的品質(zhì)。在車床、銑床等通用機床,以及包括專有設(shè)備在內(nèi)的所有機床、專業(yè)機械、半導(dǎo)體制造裝置,精密測量儀器等方面,直線柵尺已經(jīng)逐步替代了傳統(tǒng)的刻度盤定位操作,大幅提高了機器的工作效率。
 
 
  三豐CMM均采用自社研發(fā)的柵尺保證高精度測量
 
  直線柵尺的應(yīng)用
 
  01、半導(dǎo)體裝置用于切割鋸的定位
 
 
  02、曝光裝置用于掃描臺的定位
 
 
  03、電子顯微鏡用于掩膜的觀測/電路圖案的測長等
 
 
  04、各種NC機床用于高精度全閉環(huán)控制
 
 
  05、電子元件安裝機用于電子元件的高速、高精度安裝
 
 
  06、FPD檢查裝置用于缺陷檢查、修復(fù)定位
 
 
  柵尺的一條龍生產(chǎn)
 
  三豐柵尺在日本宇都宮事業(yè)所的清原生產(chǎn)部一條龍生產(chǎn),這里集線性編碼器用玻璃柵尺的制造、電裝部件的組裝、產(chǎn)品的組裝、檢查于一身,并運用這一優(yōu)勢,不斷地推進柵尺的高精度化和質(zhì)量的提升。
 
清原生產(chǎn)部的地下研究樓
 
  具備高精度刻度加工、精密測量所需要的環(huán)境
 
  利用清原穩(wěn)固的地基和地下9m穩(wěn)定的環(huán)境特性,可以大限度抑制全年溫度、濕度的變化和外部振動的傳播。在這棟研究樓中開展的標(biāo)準(zhǔn)刻度的制作、相關(guān)精度評估及各種研究,是線性柵尺的精度、品質(zhì)的保障。
 
  三豐柵尺的高信賴性
 
  線性編碼器的精度保證,需要高度可靠的評估系統(tǒng)。
 
  清原生產(chǎn)部的地下研究樓內(nèi)設(shè)有自主開發(fā)的超高精度測長機,作為線性編碼器評估系統(tǒng),該設(shè)備不僅擁有地下穩(wěn)定的周圍環(huán)境,而且實現(xiàn)了激光干涉測長光路的真空化,大限度排除了不確定性因素。
 
高可靠度的評估系統(tǒng)
 
  該設(shè)備的誤差達(dá)到世界級水平,這在間的相互比較中也得到了確認(rèn)。憑借高超的技術(shù)水平,曾榮獲2004年度精密工學(xué)會論文獎、2005年度發(fā)那科FA機器人財團FA論文獎。
 
  可追溯性
 
  三豐直線柵尺可溯源到日本國家基準(zhǔn)。
 
▲柵尺的溯源體系圖
 
  柵尺的分類
 
  線性編碼器根據(jù)控制方式的不同,外觀結(jié)構(gòu)的不同,原點確立方式,檢出原理等可分為多種類型。
 
  分類如此“復(fù)雜”,怎樣才能選擇出適合的那款柵尺呢?下一期將介紹柵尺的選型,敬請關(guān)注喲。
 
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