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伴隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，半導(dǎo)體器件生產(chǎn)設(shè)備要求猛增，相對(duì)應(yīng)的分析也快速發(fā)展趨勢(shì)。因?yàn)檠芯科鸩捷^晚，與外國(guó)差別大約20年。機(jī)器設(shè)備被外國(guó)壟斷性，在其中晶棒整形一體機(jī)是半導(dǎo)體材料光伏材料生產(chǎn)加工的主要設(shè)備之一，一樣被外國(guó)壟斷性。國(guó)內(nèi)機(jī)器設(shè)備選用分離式設(shè)計(jì)方案，精密度差、效率低、自動(dòng)化技術(shù)水平低、進(jìn)口產(chǎn)品成本增加,生產(chǎn)能力比較有限,交貨期長(zhǎng),比較嚴(yán)重限制了中國(guó)半導(dǎo)體業(yè)的發(fā)展趨勢(shì).為了解決這一難題,碳化硅晶體專用型晶棒整形一體機(jī)。

對(duì)于目前的碳化硅晶體在在開展檢驗(yàn)整形全過(guò)程中,一般全部都是選用人工去進(jìn)行,人工的工作效能低,且傳統(tǒng)式的碳化硅晶體在檢驗(yàn)整形美容全過(guò)程中,自動(dòng)化技術(shù)水平低的難題，現(xiàn)指出如下所示計(jì)劃方案，其包含床體,上述床的身上設(shè)有立桿,立桿上設(shè)有托板,托板上設(shè)有2個(gè)主軸軸承頭,2個(gè)主軸軸承頭頂均設(shè)有砂輪,砂輪的下邊設(shè)有坐落于床的身上的操作臺(tái)，床體的一側(cè)設(shè)有工作臺(tái)，氣動(dòng)剎車開啟，使全部操作臺(tái)固定不動(dòng)，隨后內(nèi)孔砂輪下刀開展切削，操作臺(tái)左右挪動(dòng)，在旋光性部位切削mm創(chuàng)口，能夠主題活動(dòng)挪動(dòng)的手推車臺(tái)，完成了自動(dòng)化技術(shù)對(duì)碳化硅晶體開展檢驗(yàn)整形方便使用。