蔡司三坐標ZEISS XENOS長度測量誤差E00.3 + L/1,000 μm。

測量范圍XYZ9/15/79001,500700機械設計XENOS采用了機械設計理念。

可選用的軟件：CALYPSO GEAR PRO
可選用的探測頭：VAST gold

機械設計
XENOS采用了機械設計理念。與標準橋式測量機不同：Y導軌分布于側壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向

移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱實在的優勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的統一。

所有軸均采用線性驅動
XENOS的所有軸均采用線性驅動。其優點：高速、加速超快、定位精度高、驅動無剪切力影響。結合高分辨率光柵尺

技術，XENOS的線性驅動可獲得高度穩定性及低于100納 米的高定位精度。例如，測針偏移量越恒定，即可獲得測量

精度。于測量曲面時更顯見：測針的移動路徑與預定值越吻合，即可實現的準確性。

優化的氣浮軸承

強化處理氣浮軸承具有優異的穩定性及測量精度。

長度測量誤差E0

0.3 + L/1,000 μm

測量范圍