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? 在影像測量儀上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量，測量時先對焦，后對準，再讀數（計數），計算處理。如果被測件不能被有效正確的照明，則測量的結果顯然要偏離其真實尺寸。除前述因素外，環境條件也是制約測量精度不可忽視的因素?；谏鲜龇治?，可以歸納出以下幾個方面的誤差來源：

1、光柵計數尺的誤差；

2、工作臺移動時存在的直線度、角擺帶來的誤差；

3、工作臺兩測量軸垂直度帶來的誤差；

4、顯微鏡光軸與工作臺面不垂直帶來的誤差；

5、測量室溫度偏離20℃參考溫度帶來的誤差；

6光源照明條件的變化帶來的對焦和對準誤差。