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表面粗糙度儀的測量方法介紹
閱讀：118 發布時間：2020-8-19觸針法：利用針尖曲率半徑為 2微米左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學式長度傳感器轉換為電信號，經放大、濾波、計算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數值，也可用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀。同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀，這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機，它能自動計算出輪廓算術平均偏差Rα，微觀不平度十點高度RZ，輪廓大高度Ry和其他多種評定參數，測量效率高，適用于測量Rα為0.025～6.3微米的表面粗糙度。
光切法：光線通過狹縫后形成的光帶投射到被測表面上，以它與被測表面的交線所形成的輪廓曲線來測量表面粗糙度。由光源射出的光經聚光鏡、狹縫、物鏡1后，以45°的傾斜角將狹縫投影到被測表面，形成被測表面的截面輪廓圖形，然后通過物鏡 2將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測微目鏡和讀數鼓輪，先讀出h值，計算后得到H 值。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測量RZ和Ry為0.8～100微米的表面粗糙度，需要人工取點，測量效率低。
干涉法：利用光波干涉原理將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量，以得出被測表面粗糙度。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測量Rz和Ry為 0.025～0.8微米的表面粗糙度。