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長期以來，測量極限誤差是評價平直量具測量精度的傳統方法。

由器具誤差、方法誤差和溫度誤差等各種誤差分量中隨機誤差和未定系統誤差，按平方和規律合成，得到的總的測量極限誤差簡稱測量極限誤差簡稱測量極限誤差。

器具誤差是指計量器具的內在誤差。器具的示值誤差、示值變動性、靈敏限、原理誤差、裝調誤差及調整用標準的誤差及調整用標準器的誤差，是構成器具內在誤差的主要來源。器具誤差包括在平直量具檢測的測量誤差中，是直接影響平直量具測量準確度的主要因素。在對平直量具檢測的測量誤差中，是直接影響平直量具測量準確度的主要因素。在對平直量具檢測測量誤差分析和進行測量極限誤差計算時，器具誤差是必須首先考慮的。

從誤差的數學特征分析可得器具誤差的特點，它包括系統誤差和隨機誤差兩大類。計算兩期的原理誤差由于其大小和符號固定不變，一般屬于定值系統誤差，而由其他原因產生的系統誤差大都屬于未定系統誤差或按復雜規律變化系統誤差，器具的刻度誤差雖然固定不變，但其數值大小是不確定量。器具傳動部件間的間隙大小、摩擦力、測量變化等因素產生的誤差為隨機誤差。