如何減少熱變形對平面研磨機在加工工件精度方面的影響，需要在平面研磨機設備上采用各種熱自動補償的方法來改善工藝系統，下面就來具體說說其中的方法。
在解決工件的兩端面磨主軸熱伸長的問題的時候，采用的解決辦法是除了改善主軸軸承的潤滑的方面之外，還會采用熱補償的方法，達到平衡的要求，在當主軸由于軸承的發熱而出現變形伸長的時候，自動補償主軸的向前的熱變形，達到消除平面研磨機主軸的熱變形的加工精度的影響。
在設備的結構上，還有其他的達到熱均衡的方法，主要是采用熱空氣空氣來加熱溫升，以達到均衡溫升，這種能夠有效降低立柱的彎曲變形。
這種方法被加工工件的不平度是可以大大的降低，由于設備的原因，設備上部分的熱量會比較大，目前會采用熱管的裝置來降低設備的熱變形，效果比較明顯。
縮短啟動至達到一個熱平衡的這個時間，是比較有利于提高生產率的。主要有兩種方法，在加工工件之前需要是平面研磨機設備能夠迅速的達到一個熱平衡的狀態，然后是換成工作轉速進行加工，另外一種方法。是采用設備適當部位人工設備熱源，促進其達到熱平衡，在設備不進行工作的時候，保持設備能夠加工到工作的狀態的溫度，從而是設備的熱變形能夠減小到一半。
快速溫升的過程，是保持熱平衡的主要手段，是熱變形控制早設備上使用的重要依據
