在導(dǎo)軌和軸承方面，由于高精度加工需要實現(xiàn)高精度和平穩(wěn)的定位運動、軌跡運動和微小距離運動，因此高精度加工機床采用靜壓絲杠和靜壓導(dǎo)軌較為常見。此外，高精密加工機床的電主軸也可采取動壓或靜承的方案，以同時實現(xiàn)支承和冷卻功能，并提高主軸的剛度和阻尼性能。  

在位置控制方面，由于精密測量是控制高精度加工的前提，要保證機床的運動達到需要的精度級別，其電子尺的測量精度須要高1~2個數(shù)量級。

目前高精度加工機床一般采用分辨率達0.05~0.1μm的玻璃光柵。  

機床的加工精度、光潔度和刀具壽命與機床的剛性成正比，因此高精度加工機床尤其重視床身的設(shè)計和材料選擇。

 

超精密機床  

 

超精密機床加工是指尺寸精度在100nm以內(nèi)的加工技術(shù)。隨著航空航天、精密儀器、光學和激光技術(shù)的迅速發(fā)展，以及人造衛(wèi)星姿態(tài)控制和遙測器件、光刻和硅片加工設(shè)備等各種高精度平面、曲面和復(fù)雜形狀零件的加工需求日益迫切，超精密加工的應(yīng)用范圍日益擴大。它的特點是可以直接加工出具有納米級表面光潔度和亞微米級形面精度的表面，借以實現(xiàn)各種優(yōu)化的、高成像質(zhì)量的光學系統(tǒng)，并促使光學電子設(shè)備的小型化、陣列化和集成化。  

近年來，超精密加工開始從高技術(shù)裝備制造領(lǐng)域走向消費品生產(chǎn)領(lǐng)域。應(yīng)用的是各種電子產(chǎn)品中的塑料成像鏡頭，如手機和數(shù)碼相機鏡頭、光盤讀取鏡頭、人工晶體等。同時，也開始用于各種自由曲面光學零件、微透鏡陣列、漸進式鏡片、菲涅爾透鏡、微溝槽陣列等各種光束處理鏡片的加工。與成像鏡頭相比，光束處理器件具有更為復(fù)雜的形面。