P93系列快速*定位臺 是加工微結構表面的關鍵,它決定了系統可以加工的微結構表面的復雜程度和加工后的表面精度,所以快速*定位系統FTS必須要能夠實現高頻率和高精度的進給。
P93 快速*伺服系統內部是由 PZT 壓電陶瓷驅動，其工作原理是利用 PZT 壓電陶瓷的逆壓電效應，即在壓電陶瓷的兩極施加電壓，壓電陶瓷沿極化方向產生微形變。PZT 壓電陶瓷具有高分辨率、高響應速度、大出力等特性，在微位移領域獲得了廣泛的應用。
P93系列快速*定位臺 技術參數：
型號 |
尾綴S/C/L-閉環 尾綴K-開環 |
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| P93.X70C P93.X70L P93.X70K | P93.X100C P93.X100L P93.X100K |
單位 |
標稱行程范圍（0~120V） |
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| 65 | 95 | μm±20% | |
zui大行程范圍（-20~150V） |
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| 90 | 120 | μm±20% | |
傳感器類型 |
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| CAP/LVDT/- | CAP/LVDT/- |
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閉/開環分辨率 |
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| 7/10/3 | 15/20/10 | nm | |
閉環線性度 |
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| 0.05/0.1/- | 0.1/0.15/- | %F.S. | |
閉環重復定位精度 |
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| 0.03/0.05/- | 0.03/0.05/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動 |
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| <15 | <20 | μard | |
推/拉力 |
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| 400/50 | 300/25 | N | |
運動方向剛度 |
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| 5 | 3 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 |
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| 0.15 | 0.2 | kHz±20% | |
閉/開環空載階躍時間 |
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| 10/7 | 30/7 | ms±20% | |
閉環空載 工作頻率 | 10%行程 |
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| 50 | 50 | Hz±20% |
*行程 |
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| 10 | 10 | ||
zui大承載 |
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| 20 | 20 | kg | |
靜電容量 |
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| 15 | 15 | μF±20% | |
材質 |
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| 鋼 | 鋼 |
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重量 |
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| 4000 | 3500 | g±5% | |
應用
• 金剛石鉆頭進給 • 精密金屬加工 • 高速工具控制 • FTS快刀伺服車削系統
• 工件定位 • 精密加工與研磨 • 大負載工件精密定位
特點
• 超高精度 • 承載能力大 • 閉環精度高 • 高剛度
| 防塵防液滴 | 采用大出力壓電陶 |
| 快速*定位器采用的壓電陶瓷的出力是其他壓電平移臺出力的幾倍。 | |
| 高剛度 | 高精度 |
| 定位器臺體材料采用不銹鋼材質以確保加工過程中的穩定性，可以 結構穩定可靠，加工精度不會因顫動而受影響。 | 不同于振動加工，*位置可以通過內置傳感器進行反饋 |
| 快速*定位器剛度遠大于常規壓電平移臺。 | |
