*、儀器名稱及型號：v400E型大尺寸掃描超聲顯微鏡 第二、品牌：德國KSI公司 第三、設備主要用途： ? 測試被測工件內部缺陷，如空洞、分層、裂縫、異物等； ? 掃描圖像模板功能，輕松獲得參數一致的聲學顯微圖像； 第四、超聲掃描顯微鏡在失效分析中的優勢簡介 ? 非破壞性、無損檢測材料或IC芯片內部結構 ? 可分層掃描、多層掃描 ? 實施、直觀的圖像及分析 ? 缺陷的測量及缺陷面積和數量統計 ? 可顯示材料內部的三維圖像 ? 對人體是沒有傷害的 ? 可檢測各種缺陷（裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等） 第五、產品特色簡單介紹 KSI V400E是一款高產能聲學顯微鏡，可以對塑封集成電路IC、IGBT大功率模組，各型電容、以及銅基板器件進行無損檢測，分析器件內部之分層、裂縫、空洞等缺陷。X軸和Y軸均是新型超高速線性伺服電機，磁懸浮結構，掃描速度快，比常規機器要快30%以上同時經久耐用。能對器件作多種掃描模式，如點掃描(A-)、縱剖掃描（B-）、橫剖掃描（C-）、多層橫剖掃描(X-）等。 ? 掃描范圍大：400mm x 400mm；（常規機器一般約是300mm x 300mm） ? 掃描重復精度高：+/-0.1微米（常規機器只能做到0.5微米） ? 采用磁懸浮超高速機型，掃描速度快：2米/秒(常規機器小于1米/秒2) ? 掃描加速度：30米/秒2，KSI一臺機器相當于常規機器2臺的工作量 ? 的低噪防誤判測量探頭，在高速掃描時可去除水花導致的誤判, 成像更加清楚（常規機器沒有） ? 為中國用戶開發了簡體中文界面 第六、設備主要參數 6.1 電子和聲學顯微系統單元 ? 放大倍率：625倍 ? 新型FCT換能器頻率范圍 5~400 MHz，所有換能器帶有壓制水花噪聲的降噪設計 ? 射頻增益：50dB ? 探頭焦距：2mm-50mm 可選 ? 模數轉換AD卡：1GHz ? 聲學信號激發和接收裝置帶寬：5MHZ-555MHz ? 大圖像采樣像素：32000×32000像素 6.2 機械掃描單元 ? X/Y/Z軸驅動系統：采用直線磁懸浮電機 ? X軸和Y軸的掃描速度：2米/秒，加速度：30米/平方秒 ? 掃描范圍：400mm x 400mm ? X軸和Y軸的精度：+/-0.1微米 ? Z軸調焦行程：100mm ? 工作臺：標準、托盤、真空吸附、定制等可選 ? 樣品槽尺寸：580mm x 780mm x 110mm (W x D x H) 6.3 Ksi Vision測試分析軟件單元 ? 掃描模式：包含點波形(A-Scan)、縱剖掃描(B-Scan)、橫剖掃描(C-Scan)、斜剖掃描（D-Scan）、等間隔多層橫剖掃描(X-Scan)、自定義多層橫剖掃描、透射掃描、3D等掃描模式等； ? 軟件可以實時記錄X軸的加減速曲線； ? 幾何測量功能：能對C掃描圖像進行精確X-Y測量，Z方向由時間座標顯示； ? 面積測量功能：要求能對分層缺陷面積進行測量，并計算出在任意面積下缺陷所占的面積百分比； ? 二維圖像處理功能: (a)可對圖像進行視頻增強、邊界強化、輪廓凸現、對比度增強、圖像反轉等基本圖像處理方式； (b)圖像著色：能通過灰度、固定色、彩虹色等模式對圖像進行著色； (c)對檢測圖像具有注釋功能； ? 三維超聲CT成像軟件功能： (a)可對被檢工件作三維超聲CT成像； (b)可對圖像任意縮放、旋轉，還可對三維圖像進行切割。 ? 系統自我保護功能： （a）開機自檢功能、假如有異常，會報故障信息提示框； （b）具有Z軸對焦限位保護功能，能避免換能器由于誤操作與樣品發生撞擊； （c）換能器上同時具有物理保護角，能防止探頭傳感器部分與樣品直接碰撞。
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