400-400平臺表面的修平采用"三塊對研法"。其方法是:修磨之前用刀口尺粗略地檢驗各400-400平臺的平面度，區(qū)分出凹凸大小的不同情況。先在三塊400-400平臺上分別作上記號，以防修磨時搞錯。然后取二塊差大一些的400-400平臺加粗砂互相對研(粗砂的可選型號有:W20、W14、W10、W7、W5、W2.5)，互研的順序一般為2/1、3/1、3/2、1/2、1/3、2/3。要求每次研磨的時間相等，來回轉(zhuǎn)4圈后取下400-400平臺，擦去烏黑油膩，檢查400-400平臺的平面度和精度，當(dāng)平面精度誤差很小時，洗去粗砂，加細砂對研，直至達到△12級以上平面要求。由于同種材料，加砂對研時，二塊400-400平臺的表面同時磨損，凹凸相吻合;再換上第三塊與其一中塊對研時，又消除了各自的缺陷。三塊輪換對研，凹凸越磨越小。如此三塊相互輪換，上下交替，多次研磨，逐漸達到平面精度要求。經(jīng)研磨修平的400-400平臺須檢定平面度，一般使用0級刀口尺用透光法檢定。檢查前把400-400平臺擦干凈，不使刀口尺的刃與400-400平臺有吸附現(xiàn)象，仔細檢查400-400平臺表面有無透光超差。修理量塊用的400-400平臺表面需稍凸一些，一般每平方米不超過+0.003mm。如果不是凸面，使用前可用60瓦白熾燈泡作一個四方框把400-400平臺放在上面加熱，方可獲得400-400平臺表面稍凸的效果。