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系統400片/h

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SORTER SYSTEM
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間 2022-12-16
  • 訪問次數448
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北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經濟技術開發區,是由留學歸國技術人員所創辦的高科技技術型企業。  公司核心技術人員擁有在國內外半導體行業20年的實際從業經驗,能夠設計可用于半導體設備的各種自動化設備。公司當前的主力產品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統以及日本潔凈機械手臂專業廠家JEL生產的各種潔凈機械手臂等。  公司自主獨立研發的小尺寸晶圓自動裝卸載系統具有占地面積小、自動化程度高的特點,能夠有效的提高產線效率,降低生產成本; JEL公司生產的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩定性強的特點,能夠滿足中國客戶需求,適合當前的中國市場。  作為日本JEL公司在中國地區的合作伙伴,我公司和JEL公司將持續不斷的為中國市場提供專業、高性價比的產品以及優質、快捷的服務。
潔凈機械手臂
系統400片/h
系統400片/h 產品信息
特點

    可實現400片/小時產率的高性能晶圓搬運系統,系統內部使用了本公司設計生產的高性能大氣機械手臂和校準器

  • 依據SEMI Standard標準(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
  • 校準器設有緩沖器功能, 使晶圓的更換成為可能, 實現了高吞吐量 (400片/h)
  • 搬運機械手采用路徑規劃方式, 無行走軸, 支持并列配置盒
  • 搬運機械手進行區域控制, 能夠順暢而快速地進行搬運
  • 配備ID閱讀器, 可以進行晶圓的ID讀取 (表里支持為選購件)

應用設備實例

半導體生產線

規格
對應片盒 300 mm FOUP(25片)
SEMI E47.1,E62標準品
對應晶圓 300 mm 硅片(厚度:775 µm)
Throughput* 400片/h
潔凈度 ISO標準 Class 2(FFU使用)
外形尺寸* W1756xD1200xH1901
重量* 大約 600 kg
廠務 電源:AC200V±15% 20A
干燥空氣:0.7 MPa to 0.4 MPa
真空:優于-60 kPa

*測試機型:4 FOUP對向擺放 400片/h

關鍵詞:機械手

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