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儲片盒內晶圓的自動搬運系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SSY-20010
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間 2022-12-16
  • 訪問次數405
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北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經濟技術開發區,是由留學歸國技術人員所創辦的高科技技術型企業。  公司核心技術人員擁有在國內外半導體行業20年的實際從業經驗,能夠設計可用于半導體設備的各種自動化設備。公司當前的主力產品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統以及日本潔凈機械手臂專業廠家JEL生產的各種潔凈機械手臂等。  公司自主獨立研發的小尺寸晶圓自動裝卸載系統具有占地面積小、自動化程度高的特點,能夠有效的提高產線效率,降低生產成本; JEL公司生產的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩定性強的特點,能夠滿足中國客戶需求,適合當前的中國市場。  作為日本JEL公司在中國地區的合作伙伴,我公司和JEL公司將持續不斷的為中國市場提供專業、高性價比的產品以及優質、快捷的服務。
潔凈機械手臂
半導體工廠生產線
儲片盒內晶圓的自動搬運系統 產品信息
特點

    可安全準確的搬運儲片盒的的薄片。

  • 儲片盒和片盒間晶圓的無損傷自動搬運
  • 可選裝針對減薄晶圓的伯努利手指
  • 自動識別儲片盒內晶圓和墊紙(層間紙)
  • 可自動識別晶圓高度
  • 可滿足客戶對多個片盒及不同尺寸晶圓傳輸的需求
  • 搭載儲片盒自動開蓋機構
  • 可對應Achilles Corporation公司生產的儲片盒
  • 配備高效過濾裝置(HEPA規格),確保設備內部潔凈度
  • 配備顏色視覺傳感器,能夠分辨不同顏色的墊片(片間墊紙)

應用設備實例

半導體工廠生產線

規格
可對應片盒的種類 300 mm 儲片盒, 300 mm 片盒
被搬運物 300 mm 硅晶圓, 300 mm 儲片盒內墊片(片間墊片)
潔凈度 配備高效過濾裝置(HEPA規格),確保設備內部潔凈度
外形尺寸 1350 (寬) x 1434 (深) x 1900 (高)
廠務 電源:AC200V±10%
潔凈氣源:0.5 MPa 250 NL/min 以上
真空:-70 kPa 以上
重量 450 kg

*我司可以針對客戶對晶圓尺寸,儲片盒數量,片盒數量,是否需要校準器等不同需求提供定制設計。
  可對應多家廠商規格的儲片盒。更多信息請咨詢弊司。

關鍵詞:傳感器

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